今年7月底，安徽安芯電子科技股份有限公司（以下簡稱“安芯電子”）潔凈車間內(nèi)，一片厚度僅0.3毫米的6英寸晶圓在自動化生產(chǎn)線上完成最后一道工序。經(jīng)測試，這批晶圓的產(chǎn)品性能和良品率均達到預期目標，標志著國內(nèi)首條采用LDW先進工藝技術的6英寸車規(guī)級芯片及封裝生產(chǎn)線投產(chǎn)成功。由該生產(chǎn)線生產(chǎn)的產(chǎn)品可達到185℃結溫的高可靠性能，不僅可以滿足車規(guī)級應用需求，還推動國產(chǎn)車規(guī)級芯片邁入無鉛高可靠時代。

　　談起建設這條產(chǎn)線的初衷，安芯電子董事長汪良恩坦言：“中國新能源汽車產(chǎn)業(yè)正高速發(fā)展，但車規(guī)級功率芯片卻長期依賴進口，尤其是具有高拋負載能力的TVS芯片和軟恢復特性的FRED芯片，核心技術和產(chǎn)能幾乎被海外企業(yè)壟斷。一旦海外斷供，國內(nèi)車企生產(chǎn)線就得停擺?！闭强吹竭@樣的行業(yè)痛點，安芯電子果斷決定啟動車規(guī)級6英寸晶圓設計制造項目，“我們的目標很明確：不僅要做出‘中國造’的車規(guī)級芯片，還要比進口產(chǎn)品更可靠、更環(huán)保?！睘榇?，安芯電子專門從國際一流公司引進專業(yè)人才技術團隊研發(fā)行業(yè)最先進的汽車芯片設計制造技術，為全面實現(xiàn)新能源汽車專用芯片國產(chǎn)化助力。

　　從去年7月13日項目啟動建設到今年7月底第一批晶圓成功下線，安芯電子僅用了一年多的時間就走完了海外企業(yè)需要3～5年的技術攻關之路。

　　生產(chǎn)車間內(nèi)，安芯電子副總經(jīng)理李建利指著生產(chǎn)線上的LDW工藝模塊自豪地說：“這就是國際最先進的LDW先進工藝技術，目前國內(nèi)只有我們能把它用在車規(guī)級TVS芯片生產(chǎn)上?！?/p>

　　LDW先進工藝技術究竟有何過人之處？安芯電子6英寸車規(guī)級芯片及封裝生產(chǎn)線研發(fā)部經(jīng)理方亮解釋說，這項技術采用最先進的芯片結構設計和工藝設計，具備精準的橫向擴散控制能力，使芯片能夠在更高溫度下穩(wěn)定工作?！败囈?guī)級芯片的標準要求達到175℃結溫，我們生產(chǎn)的芯片超標準，達到185℃結溫，這樣芯片在極端環(huán)境下仍能保持性能穩(wěn)定，這對新能源汽車尤為重要。不僅如此，安芯電子的車規(guī)級芯片還具有低失效率和高拋負載通流能力等優(yōu)勢。”

　　值得一提的是，該工藝還解決了芯片含鉛不環(huán)保的行業(yè)難題?！拔覐氖掳雽w行業(yè)十多年，一直希望能夠實現(xiàn)無鉛化芯片生產(chǎn)?！狈搅粮锌?，“LDW先進工藝技術使我們終于擺脫了對鉛的依賴，產(chǎn)品完全符合國際標準，這是技術上的重大突破，同時也意味著它不僅能滿足國內(nèi)車企需求，還能出口到海外市場。”

　　除了工藝突破，產(chǎn)線建設也充滿挑戰(zhàn)。為了滿足車規(guī)級芯片對潔凈度的嚴苛要求，整個生產(chǎn)車間按照百級潔凈標準打造。“你現(xiàn)在看到的這條生產(chǎn)線，包含了精準擴散摻雜、高精度光刻、等離子蝕刻等30多道先進工藝，光是高潔凈度清洗環(huán)節(jié)就分了六步，每一步都要使用超純水和專用清洗劑，確保晶圓表面沒有任何雜質?！狈搅粮嬖V記者，尤其是LPCVD模塊中的Nitride沉積工藝，能在晶圓表面形成一層均勻的絕緣膜，這層膜的厚度直接影響芯片的抗干擾能力，“我們的沉積厚度控制在100—200納米之間，誤差不超過5納米，這在行業(yè)內(nèi)屬于頂尖水平?！?/p>

　　“目前生產(chǎn)線處于小批量生產(chǎn)階段，國內(nèi)已經(jīng)有多家新能源汽車廠商前來洽談合作。”李建利透露，“滿負荷生產(chǎn)后，將實現(xiàn)每年36萬片芯片的產(chǎn)能，可制成10億只電子元器件，滿足近200萬輛新能源汽車的需求。”

　　這條國內(nèi)首條采用LDW先進工藝技術的6英寸車規(guī)級芯片及封裝生產(chǎn)線，不僅填補了國內(nèi)技術空白，更有助于打破海外企業(yè)的壟斷，為新能源汽車產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展注入“芯”動力。“中國汽車要駛向全球，必須裝上‘中國芯’，這是我們安芯人的使命，更是中國半導體企業(yè)的責任?！蓖袅级髡f。

來源：池州日報